УПРАВЛЕНИЕ ТЕМПЕРАТУРНЫМ РЕЖИМОМ ЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ПЕЧИ ПЕРИОДИЧЕСКОГО ДЕЙСТВИЯ
View/ Open
Date
2017Author
Бочаров, Г.В.
Бочаров, Г.В.
Bocharov, G.V.
Тігарєв, А.М.
Тигарев, А.М.
Tigariev, A.M.
Тігарєва, Т.Г.
Тигарева, Т.Г.
Tigarieva, T.G.
Metadata
Show full item recordAbstract
Проведен анализ существующих методов управления температурным режимом электрической печи при вжигании различных паст в подложку при производстве толстопленочных интегральных микросхем. Предложен комбинированный метод управления температурой в каждой зоне нагрева. Разработана имитационная модель печи и структура системы управления. Проведено её моделирование в программном пакете MATLAB Simulink.